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HOME > 제품소개 > 전기・전자기계
제품소개
PRODUCTS
전기・전자기계
온도환경시험기(inTEST)
Hot・Cold Plate(inTEST)
이온 빔 밀링 장비(Hakuto社)
노광장치(Hakuto社)
Hap 7020i
Hap 3550FX
Hap 1100ST
라미네이터(Hakuto社)
Teslameter(Group3社)
디바이스
GEL PAK
DTEN
NEC
노광장치(Hakuto社)
Hap 3550FX
특징
사양
카탈로그
비고
■Sinlge Roll과 Double Roll 구비
■양면 동시 조정에 의해 표면의 정밀도 높음 위치 맞춤을 실현
■글라스마스크, 필름 마스크 사용이 가능
Single Roll
Double Roll
위치 맞춤 정밀도(반복)
3σ < 10
㎛
3σ < 10
㎛
생산성
18초 + 노광시간
9초 + 노광시간
최대기판사이즈
W550 X L650mm
W550 X L650mm
평행광광원
(초고압수은램프사용)
광원
5kw, 램프 1개
5kw, 램프 2개
조도
> 35mw / ㎠
> 35mw / ㎠
평행반각
≤ 1.5°
≤ 1.5°
경사각
≤ 1.5°
≤ 1.5°
조도분포
≥ 90%
≥ 90%
첨부파일 :
PWB2015_6pHakuto_JPCA_naka++.pdf